风华半导体研究院的深夜里,灯光依旧通明。
材料实验室里,李振华教授盯着显微镜,眉头紧锁。旁边的工作台上,散落着几十个玻璃皿,每个里面都装着不同配比的材料样品。有的颜色暗淡,有的表面粗糙,有的已经开裂。
“还是不行。”李教授直起身,揉了揉发酸的眼睛,“第三十七次实验,光谱特性还是达不到要求。”
助手小陈递过来一杯浓茶:“教授,您已经连续工作了十八个小时,休息一会儿吧。”
“没时间休息。”李教授接过茶杯喝了一口,“光源材料是EUV的命门,这个坎过不去,后面的一切都是空谈。”
他看着那些失败的样品,心中涌起一股无力感。在美国的实验室,他有最先进的设备,最纯的原料,最全的数据库。可在这里,设备是二手的,原料要自己提纯,数据要自己积累。每一项实验,都要付出几倍的努力。
“教授,要不要试试那个思路?”小陈小心翼翼地问。
“哪个思路?”
“就是您昨晚说的,用多层薄膜结构,模拟单一材料的特性。”小陈说,“虽然工艺复杂,但至少理论上可行。”
李教授沉思着。这个思路是他昨晚突发奇想想出来的,但实现难度极大。需要精确控制每一层薄膜的厚度,误差不能超过纳米级别。以他们现有的设备,几乎不可能做到。
“设备精度不够。”他摇头。
“我们可以改造设备。”一个声音从门口传来。
张建国走了进来,手里拿着几份图纸:“李教授,你看这个。我们的机械工程师设计了新的夹具和控制系统,能把现有镀膜机的精度提高一个数量级。”
李教授接过图纸,仔细研究。图纸设计得很巧妙,用机械补偿的方式,弥补了设备精度的不足。虽然比不上最先进的设备,但确实有可能实现纳米级的控制。
“谁设计的?”他惊讶地问。
“小王,就是那个提出降频方案的年轻人。”张建国笑道,“他说既然买不到好设备,就把现有的设备改造到最好。”
李教授感慨:“真是江山代有才人出啊。好,就按这个方案试试。小陈,准备材料,我们今晚就做第一次试验。”
“是!”小陈兴奋地跑向库房。
张建国看着李教授布满血丝的眼睛,忍不住劝道:“教授,您还是休息一下吧。这样连轴转,身体会垮的。”
“张总,你不也在连轴转吗?”李教授反问,“我刚才路过光学实验室,看到你带着人在调试镜面抛光机,也是通宵吧?”
张建国苦笑:“没办法,时间不等人啊。韩总那边压力很大,手机业务等不起。我们早一天突破,风华就早一天摆脱困境。”
两人相视苦笑。他们都是经历过困难年代的人,知道什么是“争气”。只是这一次,争的不只是一口气,更是一个产业的未来。
凌晨三点,材料实验室里依然灯火通明。改造后的镀膜机发出低沉的嗡鸣声,机械臂在精密导轨上移动,将一层层薄膜沉积在基片上。
李教授和小陈紧紧盯着监控屏幕,上面的数据曲线如同心跳般波动。
“第一层完成,厚度偏差百分之零点三。”
“第二层完成,厚度偏差百分之零点二。”
“第三层......”
当第十二层薄膜沉积完成时,小陈激动地喊道:“教授,成功了!十二层薄膜,总厚度偏差控制在百分之一以内!”
李教授看着屏幕上的数据,长长舒了一口气。虽然离理想值还有差距,但至少证明这个思路是可行的。
“取样,做光谱分析。”他吩咐道。
半小时后,分析结果出来了。看着光谱曲线,李教授的眼睛亮了:“接近了!虽然还没达到EUV的要求,但比之前的任何样品都接近!”
他立即拨通韩风的电话,尽管现在是凌晨四点。
“韩总,好消息。”李教授的声音因为兴奋而有些颤抖,“我们在光源材料上取得了突破。虽然还没完全成功,但找到了正确的方向。”
电话那头,韩风显然也被吵醒了,但声音立刻清醒:“太好了!李教授,需要什么支持,尽管说。”
“我们需要更纯的原料,还有更精密的检测设备。”李教授说,“另外,我想成立一个专门的工艺组,研究如何把实验室成果转化为量产工艺。”
“没问题。我让苏总全力配合。原料和设备,不计成本,尽快采购。”韩风顿了顿,“教授,您要注意身体。突破很重要,但您的健康更重要。”
“我没事。”李教授笑道,“有了进展,比睡什么觉都解乏。”
挂掉电话,李教授对小陈说:“把数据整理好,明天上午开组会,讨论下一步方案。”
“教授,您不去睡一会儿?”
“睡不着。”李教授看着窗外渐亮的天色,“天快亮了,正好看看日出。”
两人走到楼顶,东方的天空已经泛起了鱼肚白。晨风吹来,带着草木的清香。
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