这个消息解了燃眉之急。10亿美元专项贷款加5亿美元股权投资,正好填补了资金缺口。林渊立刻安排张磊对接相关部门,办理资金划拨手续。“这笔资金要优先保障设备采购,尤其是ASML的DUV光刻机和国产刻蚀机的预付款,必须按时支付。”林渊叮嘱道,“同时,跟海外债券承销商沟通,将剩余15亿美元的债券发行规模缩减至10亿美元,降低发行成本。”
资金问题解决后,林渊把重点放在了设备交付的风险防控上。海因茨博士带来了ASML的最新回复:“对方坚持说全球订单激增导致产能不足,交付时间要推迟3个月,但我通过内部渠道了解到,实际是米国商务部给ASML施压,要求对我们的订单进行‘技术审查’,这才是延迟的真正原因。”海因茨博士的语气带着担忧,“如果审查升级,不排除对方会终止合同。”
林渊早已做好了两手准备。他带着海因茨博士和赵宇来到中微公司的临时组装厂,看着工程师们正在调试的刻蚀机,对众人说:“我们不能把宝都押在ASML身上。赵宇,你牵头成立‘国产光刻机攻坚小组’,联合中科院光电技术研究所和华中科技大学,重点攻关DUV光刻机的核心技术,优先解决光源和物镜系统的国产化;海因茨博士,你负责优化现有国产设备的工艺参数,就算没有ASML的光刻机,也要用国产设备实现28纳米芯片的量产,良率目标不低于90%。”
攻坚小组的成立立刻取得了突破。中科院光电技术研究所带来了他们研发的深紫外光源样机,虽然功率比ASML的光源低15%,但通过优化光刻胶配方,已经能满足28纳米工艺的需求。“我们可以采用多重曝光技术弥补光源功率的不足,虽然会增加一道工序,但能将芯片的线宽精度控制在0.14微米以内。”研究所的陈研究员介绍道,“只要再投入2亿美元进行优化,3个月内就能完成样机的中试。”
林渊当场拍板,追加2亿美元研发资金,支持国产光刻机的中试。同时,他让陈曦联系江城政府,协调将“芯谷”产业园内的一栋标准厂房改造为光刻机研发中心,配备百级净化车间和精密测试设备,确保研发工作顺利推进。“国产光刻机不仅要满足我们自己的需求,未来还要推向市场,打破ASML的垄断。”林渊对团队成员说,“这是‘核芯计划’的核心目标之一,再难也要攻克。”
3月初,“芯谷”产业园的各项筹备工作基本就绪。晶圆厂的主体结构图纸通过了审核,施工队已经进场搭建脚手架;配套的供水、供电、供气管道铺设完成80%;10家核心配套企业的厂房建设同步推进,其中海市新阳的光刻胶车间已经开始安装生产设备;“渊渟-华科芯片联合研究院”的研发大楼完成了地基浇筑,开始搭建钢结构。
动工仪式的筹备工作也进入了尾声。江城政府成立了仪式筹备专班,负责邀请嘉宾、现场布置和媒体接待。王军副市长向林渊汇报:“工信部领导、湖北省和江城的主要领导都会出席仪式,华维、比雅迪、蔚来等合作伙伴的负责人也确认参会,还有30多家国内外媒体报名采访,仪式将通过龙国国家电视台(CNTV)新闻客户端全程直播。”
林渊特别要求在仪式现场设置“产业链展示区”,展示国产刻蚀机、光刻胶、大硅片等配套产品,让嘉宾和媒体直观了解“芯谷”的产业链生态。“我们要通过这次仪式,向外界传递一个信号:龙国的芯片产业不是孤军奋战,而是形成了完整的产业链集群。”林渊对王军说,“同时,邀请100名‘芯片产业学院’的首批新生代表参加仪式,让他们感受龙国半导体产业的崛起氛围,增强使命感。”
3月18日,动工仪式的前一天,林渊再次来到产业园检查准备情况。夕阳下,“芯谷”产业园的巨大横幅格外醒目,“自主创新,硬核崛起”八个大字熠熠生辉。施工机械整齐排列,产业链展示区的展品已经摆放就绪,国产刻蚀机的样机被放在最显眼的位置,旁边的屏幕上循环播放着技术团队的研发历程。
李校长带着几位“芯片产业学院”的新生代表来到现场,一名叫陈宇的男生激动地对林渊说:“林总,我是学晶圆制造专业的,看到我们自己的刻蚀机和光刻机研发取得突破,我更加坚定了投身芯片产业的决心。毕业后,我一定要来‘芯谷’工作,为龙国的芯片事业出一份力!”
林渊拍了拍陈宇的肩膀,心中充满了感慨。从宝驰汽车的重生到深蓝科技的芯片研发,从自建晶圆厂的天价投入到“芯谷”产业园的落地,这一路走来,他经历了无数的质疑和挑战,但也看到了越来越多的人加入到硬核科技崛起的行列中。他打开系统界面,查看最新进度:“‘珠峰计划’第一阶段进度98%(‘芯谷’产业园筹备就绪,国产设备研发取得突破,资金全部到位),主线任务‘挑战硬科技之巅’进度40%,支线任务‘芯谷’生态建设进度30%。奖励:‘技术攻坚加速卡’已解锁,可缩短核心技术研发周期30%。”
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