就在研发团队全力解决镜片问题时,供应链的危机再次升级。5月25日,为晶圆厂提供净化车间空气过滤器的米国AAF公司,突然通知终止合同,理由是“渊渟资本被列入实体清单,违反了米国的出口管制法律”。空气过滤器看似不起眼,却是净化车间的核心部件,直接决定车间的洁净度等级。国内虽然有替代产品,但过滤效率只能达到99.99%,而进口产品能达到99.9999%,差两个数量级的精度,将导致芯片生产过程中的杂质污染率增加10倍。
“没有高精度过滤器,就算光刻机调试好了也没用!”海因茨博士急得团团转,“28纳米工艺对空气中的颗粒直径要求是0.1微米以下,国内产品根本无法满足。我们之前采购的100套过滤器,最多只能维持3个月,用完之后怎么办?”林渊立刻联系国内的过滤设备企业,得知苏州的一家企业正在研发高精度过滤器,已经完成了实验室测试,只是还没量产。“我们愿意投入1亿美元,帮助你们改造生产线,3个月内实现量产!”林渊在电话里向企业负责人承诺,“只要产品达标,我们签订5年的独家采购协议,年采购量不低于2000套。”
资金的压力越来越大。张磊在5月底的资金盘点会上汇报:“截至目前,项目已经累计投入110亿美元,其中厂房建设45亿美元,设备采购和研发40亿美元,供应链应急支出15亿美元,人员薪酬和其他费用10亿美元。按照当前的进度,剩余的70亿美元最多只能维持8个月,而国产设备的量产至少还需要12个月,资金缺口达50亿美元。”更糟糕的是,之前承诺注资的一家海外投资机构突然宣布撤资,理由是“项目风险超出预期”。
林渊不得不启动紧急融资计划。他亲自带队前往香港,与多家主权基金和私募机构洽谈融资事宜。然而,在浑水做空报告的影响下,大多数机构都持观望态度。卡塔尔主权基金的投资总监直言:“我们认可龙国芯片产业的前景,但‘芯谷’项目的风险实在太高,国际封锁、技术瓶颈、资金超支,任何一个问题都可能导致项目失败。除非你们能提供政府的全额担保,否则我们无法投资。”
关键时刻,国家大基金再次出手。唐老带来了好消息:“国家大基金决定追加40亿美元投资,同时协调工商银行、建设银行等6家国有银行,组成银团提供30亿美元的低息贷款,年利率仅1.0%,期限25年。这样一来,资金缺口就彻底解决了。”更令人振奋的是,国务院办公厅印发了《关于支持“芯谷”产业园建设的若干意见》,明确将“芯谷”项目列为“国家战略科技力量”,享受税收、土地、人才等方面的最高级别优惠政策。
政策的支持让项目暂时稳住了阵脚,但施工停滞的问题依然没有解决。6月1日,林渊在产业园召开了“百日攻坚”动员大会,面对数千名施工人员和技术人员,他的声音带着沙哑却无比坚定:“现在,我们面临着成立以来最严峻的挑战,国际巨头想把我们困死,资本市场想看我们笑话,但我要告诉大家,我们不会认输!从今天起,我们启动‘百日攻坚’计划,分三个战场同时推进:第一,厂房建设战场,由老张负责,70天内完成所有厂房的主体结构和净化装修;第二,设备研发战场,由海因茨博士和赵宇负责,100天内完成国产光刻机、刻蚀机等核心设备的量产调试;第三,供应链战场,由陈曦负责,90天内实现15类关键零部件的自主供应。”
为了激励大家,林渊宣布了重磅奖励政策:“百日攻坚期间,所有参与人员的薪酬翻倍,项目成功后,核心团队成员将获得项目利润10%的分红,施工团队每人发放10万元奖金。如果不能按时完成目标,我第一个辞职,向董事会和全国人民谢罪!”动员大会结束后,施工现场再次响起了机械的轰鸣声,研发中心的灯也亮得更晚了,整个“芯谷”产业园进入了“战时状态”。
然而,现实的困难远超想象。6月10日,3号厂房的地基返工刚完成一半,就遭遇了持续的强降雨天气,工地积水最深处达1米,导致混凝土浇筑工作被迫暂停。老张带着施工队冒雨排水,连续奋战了36小时,才保住了已经浇筑的地基,但工期又延误了5天。“我们已经在工地周围修建了临时排水渠,还采购了20台大功率抽水泵,就算再下雨也能正常施工。”老张浑身湿透,却眼神坚定地向林渊保证。
研发端的进展也不尽如人意。国产光刻机的镜片适配支架刚安装好,又发现激光发生器的功率稳定性出现问题,在连续运行48小时后,功率波动范围从±1%扩大到±3%,导致刻蚀良率下降到75%。陈研究员带着团队排查了三天三夜,终于发现是冷却系统的密封性不足,导致水温波动影响了激光输出。“我们需要重新设计冷却系统的密封结构,采用进口的密封垫片,但现在根本买不到。”陈研究员无奈地说。
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