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第215章 联合国内高校与研究机构

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2014年10月20日清晨,江城“芯谷”产业园的会议中心外,来自全国23所高校、15家科研机构的百余位专家学者陆续抵达。他们手中的参会证上,印着醒目的“半导体协同攻坚”字样——这是林渊牵头组织的“高校科研机构联合座谈会”,目的是将“伏羲实验室”的筹备蓝图转化为具体的合作方案,真正打通“产学研用”的最后一公里。

会议大厅的投影幕上,循环播放着“芯谷”产业园的建设纪实:从荒芜的工地到拔地而起的厂房,从国产刻蚀机的首次调试到光刻机良率的突破,每一帧画面都让在场的专家们感慨不已。清华大学材料学院的张教授看着屏幕上年轻工程师调试设备的场景,对身旁的中科院刘明院士说:“之前总听说渊渟资本敢闯敢干,今天才算真正见识到。短短一年时间,能把国产设备做到这个水平,不容易啊!”刘明院士点头认同:“关键是他们愿意把资源向科研端倾斜,这才是我们最需要的合作伙伴。”

林渊身着休闲西装,带着海因茨博士和赵宇走进大厅时,现场立刻响起了热烈的掌声。他快步走上讲台,开门见山:“今天请大家来,不是搞形式主义,而是要解决真问题。‘伏羲实验室’不是渊渟资本的‘一言堂’,而是我们共同的研发平台。接下来,我们将围绕光刻机、刻蚀机等核心设备的12项‘卡脖子’技术,签订具体的联合研发协议,明确各方的权责利,确保每一分研发经费都用在刀刃上。”

话音刚落,复旦大学微电子学院的李教授就站起身提问:“林总,我们团队在‘光刻胶光敏剂提纯’技术上有多年积累,但一直缺乏产业化资金。如果我们加入联合研发,渊渟能提供多少资金支持?研发成果的专利归属怎么划分?”这个问题说出了很多高校代表的心声,现场瞬间安静下来,所有人都看向林渊。

“资金和专利,我们早就有了方案。”林渊抬手示意工作人员分发资料,“针对每个联合研发项目,我们将采用‘基础经费+绩效奖金’的模式。基础经费覆盖研发所需的设备采购、人员薪酬等基本支出,根据项目难度核定,最低不低于5000万元;绩效奖金则与技术突破挂钩,实现阶段性目标发放30%,量产达标后发放剩余70%。”他翻到资料的第二页,“专利归属方面,高校和科研机构拥有署名权和基础研究成果的所有权,渊渟资本拥有产业化应用的独占许可权,同时会将产业化收益的15%作为分红,持续回馈研发团队。”

李教授仔细翻看资料,脸上露出了满意的笑容:“这个方案很实在,既保障了我们的科研自主权,又解决了产业化的后顾之忧。我们复旦大学愿意牵头‘光刻胶光敏剂提纯’项目,承诺6个月内实现99.99%纯度的量产级技术突破!”李教授的表态带动了现场气氛,浙江大学、海市交通大学等高校的代表也纷纷举手,主动认领了“光刻机物镜系统设计”“刻蚀机精密轴承加工”等难题。

中科院的代表则提出了不同的需求。中科院半导体研究所的王所长站起身:“我们有一项‘深紫外激光光源’技术,已经完成了实验室验证,但要适配到光刻机上,需要与设备研发团队深度协同。我们希望能派15名核心研发人员进驻‘芯谷’,直接参与光刻机的集成调试,不知道渊渟能否提供相应的工作和生活保障?”

“不仅能保障,还要给最优待遇!”林渊当即承诺,“我们已经在‘芯谷’规划了‘科研人才社区’,为入驻的专家提供拎包入住的精装公寓,配备子女教育、医疗保障等全套服务。科研人员的薪酬将采用‘双轨制’,既保留原单位的编制和待遇,渊渟再额外发放不低于原薪酬50%的岗位补贴。”他补充道,“我们还会建立‘人才交流机制’,渊渟的工程师可以到中科院的实验室学习深造,中科院的科研人员也能参与产业化项目,实现双向赋能。”

当天下午,各单位就签订了12项联合研发协议,覆盖了半导体设备的核心产业链。最引人注目的是“光刻机核心技术联合攻关项目”,由中科院光电技术研究所牵头,联合清华大学、华中科技大学等8家单位组成攻关小组,投入总经费达12亿美元,目标是18个月内完成28纳米DUV光刻机的全自主化研发,3年内突破14纳米工艺。

协议签订后的第二天,首批高校科研团队就进驻了“芯谷”临时研发中心。复旦大学的李教授带着团队一到江城,就直奔海市新阳的光刻胶生产车间。看着车间里正在调试的提纯设备,李教授眉头微皱:“现有设备的精馏塔高度不够,无法实现多轮次提纯,这是纯度上不去的关键。”他当即画出新的设备改造图纸,“需要将精馏塔高度从15米提升到25米,同时增加三层过滤膜,这样才能达到99.99%的纯度要求。”

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