资金的高效运转是联合研发的保障。张磊建立了“联合研发资金监管平台”,对每一笔经费的使用情况进行实时监控,确保资金全部用于研发环节。平台还设置了“成果公示”模块,每个项目的进展和经费使用情况都向所有合作单位公开,接受大家的监督。“截至11月底,我们已经拨付了25亿美元研发资金,其中90%都用于设备采购和技术攻关,没有出现一笔违规使用的情况。”张磊在月度资金汇报会上向林渊和各合作单位代表汇报。
12月初,联合研发迎来了首个重大突破:复旦大学李教授团队研发的“光刻胶光敏剂提纯技术”通过了量产验证,纯度达到99.99%,成本比进口产品低40%。海市新阳的生产线在采用该技术后,光刻胶的良率从88%提升到95%,年产量可满足5条28纳米晶圆生产线的需求。比雅迪、华维等下游企业纷纷发来采购订单,仅12月上旬就接到了15亿元的订单。
这个突破极大地鼓舞了所有联合研发团队的士气。浙江大学的周教授团队加快了精密轴承的量产进度,12月中旬就完成了首批1000套轴承的生产,经测试,各项指标均达到进口产品水平,成本降低了35%。中微公司的刻蚀机在采用国产轴承后,稳定性进一步提升,连续运行100小时的良率波动控制在1%以内,超过了进口刻蚀机的水平。
12月20日,林渊在“芯谷”产业园举行了“联合研发成果发布会”,向外界展示了光刻胶、精密轴承、激光光源等10项核心技术成果。发布会上,林渊宣布了一个重磅消息:“渊渟资本将联合所有合作单位,发起设立‘半导体技术转化基金’,规模50亿美元,专门用于将实验室的研发成果转化为产业化产品。基金将优先投资联合研发团队的创业项目,为技术转化提供全链条支持。”
发布会引起了国内外的广泛关注。《人民日报》在报道中称:“这种‘企业牵头、高校支撑、科研协同’的研发模式,为我国核心技术突破提供了成功范例,‘芯谷’已经成为龙国半导体产业自主化的‘发动机’。”路透社则评论道:“龙国在半导体核心材料和零部件领域的突破,将打破全球供应链的格局,ASML、应用材料等国际巨头的市场份额将面临严峻挑战。”
然而,林渊并没有被眼前的成绩冲昏头脑。他在内部会议上强调:“现在的突破只是‘点’上的突破,我们要实现‘面’上的覆盖,让所有核心设备和材料都实现自主化。‘伏羲实验室’的建设已经进入收尾阶段,下个月就要正式挂牌,我们要以此为契机,整合所有联合研发力量,向EUV光刻机、5纳米刻蚀机等更高难度的技术发起冲击。”
12月底,“伏羲实验室”的园区建设基本完成。500亩的园区内,不仅建有12个专业研发车间、8个国际一流的实验室,还配备了人才公寓、国际学校、三甲医院等配套设施。中科院、清华大学等合作单位的首批200名核心研发人员已经陆续入驻,带来了近百台先进的研发设备。华维、中微公司等企业也在实验室设立了联合研发中心,将最新的产品原型拿到实验室进行测试优化。
林渊在实验室的挂牌筹备会议上,明确了实验室的管理模式:“实验室实行‘理事会领导下的主任负责制’,理事会由所有合作单位的代表组成,每年召开两次会议,决定实验室的重大事项;主任由我担任,负责日常运营管理;各专项研发团队实行‘项目经理制’,拥有充分的研发自主权。”他特别强调,“实验室要打破‘论文至上’的传统观念,以产业化成果为导向,所有研发项目都要明确量产时间表和市场目标。”
2015年1月5日,“伏羲实验室”的挂牌仪式在江城隆重举行。工信部、科技部的领导,各合作高校和科研机构的代表,以及国内半导体行业的企业家们齐聚一堂。当林渊和唐老共同为“伏羲实验室”揭牌时,现场响起了雷鸣般的掌声。唐老在致辞中说:“‘伏羲’是中华民族的人文始祖,代表着创新和智慧。命名‘伏羲实验室’,寓意着我们要依靠自己的智慧,开创龙国半导体产业的新纪元。”
挂牌仪式结束后,林渊带领嘉宾们参观了实验室。在光刻机研发车间,嘉宾们看到工作人员正在调试最新的国产光刻机原型机,屏幕上显示的刻蚀线宽精度达到0.11微米,良率稳定在94%。陈研究员介绍道:“这台原型机的国产化率达到了99%,除了少数标准螺丝,其他所有部件都是我们自己研发生产的。预计3个月内就能完成量产调试,正式投入使用。”
在人才培养中心,嘉宾们看到500名联合培养的学生正在进行实操训练,他们操作的都是最先进的国产设备。华中科技大学的李校长感慨道:“以前我们的学生毕业后面临‘纸上谈兵’的问题,现在有了‘伏羲实验室’这个平台,学生们能亲手参与核心设备的研发,培养出来的人才肯定能快速适应行业需求。”
参观结束后,林渊在实验室的会议室召开了首次理事会会议。会上,各合作单位代表共同确定了实验室的三大研发方向:一是28纳米工艺设备的规模化量产技术,二是14纳米工艺设备的研发攻关,三是EUV光刻机的基础研究。林渊宣布,实验室将在未来3年内投入100亿美元研发资金,确保三大方向的研发任务顺利推进。
会议结束时,林渊站在会议室的窗前,看着外面飘扬的五星红旗,心中充满了坚定。联合国内高校和研究机构,成立“伏羲实验室”,只是自主研发道路上的又一个起点。他知道,接下来的研发之路会更加艰难,国际巨头的打压也会更加猛烈,但他更相信,只要所有科研工作者齐心协力,依托“产学研用”协同创新的强大合力,龙国半导体产业一定能打破垄断,实现真正的自主可控。而实验室成立后的第一个挑战,就是攻克14纳米刻蚀机的核心技术,为后续的光刻机量产奠定基础。
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