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第221章 “伏羲”芯片量产,成本骤降

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2016年1月18日清晨,中芯国际14纳米芯片量产基地的一号厂房内,自动化生产线正以每分钟一片的速度高效运转。晶圆从进料口进入,经过曝光、显影、刻蚀、掺杂、封装等200多道工序后,最终变成一枚枚指甲盖大小的“伏羲”芯片,通过真空传送带送入检测车间。林渊穿着防静电服,站在中央监控室的大屏幕前,紧盯着屏幕上跳动的产能和良率数据——产能已达到每天2万片晶圆,良率稳定在96.2%,这两个关键指标都超过了预定目标。

“伏羲”芯片的规模化量产,从2015年12月5日启动设备调试,到2016年1月10日正式投产,仅用了36天就完成了产能爬坡,创造了全球半导体产业量产爬坡的最快纪录。这背后,是伏羲实验室与中芯国际联合组建的100人量产攻坚团队,经过40天的日夜奋战换来的成果。“林总,昨天的生产成本核算报告出来了,每片14纳米晶圆的生产成本是850美元,比采用进口设备和技术的生产成本降低了42%!”中芯国际的财务总监拿着核算报告,声音里带着抑制不住的兴奋。

这个成本数据让林渊既惊喜又在意料之中。“伏羲”芯片的量产成本控制,从研发阶段就开始布局,通过三大核心策略实现了成本骤降:一是设备国产化,10条量产线采用的光刻机、刻蚀机等核心设备均为伏羲实验室自主研发,设备采购成本比进口设备降低58%;二是材料自主化,光刻胶、显影液、靶材等关键材料均实现国产替代,材料成本降低35%;三是工艺优化,通过AI算法优化生产流程,将生产周期从进口技术的15天缩短至8天,人工成本和能耗成本降低28%。

“成本降低的幅度超出了我们的预期,这意味着‘伏羲’芯片的市场竞争力将大幅提升。”林渊指着屏幕上的成本构成图,对身边的张磊说,“按照这个成本核算,每枚‘伏羲’芯片的封装测试成本约为12美元,加上晶圆成本和研发摊销,最终的单芯片成本约为35美元,而国际同类芯片的成本至少在60美元以上。我们的定价可以定在50美元,既保证了43%的毛利率,又比国际同类产品低20%以上,性价比优势非常明显。”

然而,量产初期的喜悦并未持续太久。1月20日,检测车间发现第12批次的芯片出现了微小的漏电问题,检测合格率从99.8%骤降至97.2%。虽然合格率仍在行业标准以上,但这意味着每1000枚芯片中就有28枚不合格,按照每天100万枚的产能计算,每天将产生2.8万枚不合格芯片,造成近100万美元的损失。“问题出在掺杂工序,硼离子的注入深度出现了波动,导致部分芯片的PN结漏电。”中芯国际的工艺总监赵工拿着检测报告,眉头紧锁。

掺杂工序是芯片制造的核心环节,需要将硼、磷等离子精确注入晶圆表面,形成PN结,从而实现电路的导通和截止。“伏羲”芯片采用的是离子注入机是伏羲实验室自主研发的设备,注入深度的控制精度为0.01微米。林渊立刻联系实验室的离子注入团队,李工带着团队成员连夜赶到量产基地,通过分析生产数据,发现是离子源的能量稳定性出现了问题——能量波动从0.5%上升到了1.2%,导致注入深度出现偏差。

“离子源的灯丝出现了老化,导致电子发射不稳定,能量输出波动增大。”李工拆开离子注入机的离子源,发现灯丝表面出现了微小的氧化痕迹,“之前的灯丝寿命是100小时,我们需要更换更耐高温的钨铼合金灯丝,同时优化离子源的冷却系统,将灯丝寿命延长至200小时,能量波动控制在0.3%以内。”林渊当即决定,紧急从国内厂家调运100根钨铼合金灯丝,同时安排团队对所有离子注入机的冷却系统进行改造。

改造工作在48小时内完成,第15批次芯片的检测合格率恢复至99.7%。这次小插曲让林渊更加重视量产过程中的质量控制,他当即宣布成立“量产质量管控中心”,由李教授担任主任,建立“全流程质量追溯系统”,对每一片晶圆、每一道工序、每一枚芯片都进行唯一编码标识,一旦出现质量问题,能在10分钟内追溯到具体的设备、人员和原材料批次。“量产阶段的质量控制比研发阶段更重要,任何一个小的质量问题,都可能影响我们的市场声誉。”林渊在质量管控会议上强调。

质量问题解决后,产能爬坡速度进一步加快。2月1日,量产基地的10条生产线全部实现满负荷运转,日产能达到12万片晶圆,可生产120万枚“伏羲”芯片,月产能达到3600万枚,完全满足了国内手机和服务器厂商的采购需求。华维、小米、OPPO等厂商的采购车辆在量产基地的门口排起了长队,每天都有超过50万枚芯片被运往全国各地的手机生产工厂。

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